微量氣體流量計(jì)

微量氣體流量計(jì)為實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及精密制造設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品采用層流壓差技術(shù)，具備高的測(cè)量精度與靈敏度，能夠精準(zhǔn)捕捉微小流量的變化。  

其核心優(yōu)勢(shì)在于毫秒級(jí)的響應(yīng)速度和寬量程比，支持質(zhì)量流量、體積流量及壓力的多參數(shù)實(shí)時(shí)顯示。設(shè)備通常配備彩色觸摸屏，操作直觀，且支持多種通訊接口，便于集成到自動(dòng)化系統(tǒng)中。憑借無(wú)移動(dòng)部件的堅(jiān)固設(shè)計(jì)，該流量計(jì)在半導(dǎo)體、真空鍍膜等領(lǐng)域表現(xiàn)良好，是微量氣體控制與監(jiān)測(cè)的理想選擇。

概述：

應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場(chǎng)合，尤其適合微小流量測(cè)量

適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y(cè)試的低流量、半導(dǎo)體等使用

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用

可定制0.02-1SCCM微小流量

特點(diǎn)：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
• F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）

 尺寸圖：

使用注意事項(xiàng)：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。
 

微量氣體流量計(jì)

性能參數(shù)： 

電器連接：