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美國(guó)艾里卡特ALICAT小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。
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33產(chǎn)品描述
美國(guó)艾里卡特ALICAT小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。
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艾里卡特微型氣體流量計(jì) 適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn) 產(chǎn)品體積小巧、響應(yīng)迅速，可實(shí)現(xiàn) SCCM 級(jí)別微量氣體穩(wěn)定測(cè)量，內(nèi)置多種氣體補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫(kù)，無(wú)需重新校準(zhǔn)即可切換不同氣體。具備高精度、低漂移、耐高溫高 壓等特點(diǎn)，廣泛適用于實(shí)驗(yàn)室、科研分析、精密化工、半導(dǎo)體工藝等微量氣體測(cè)控場(chǎng)景。
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艾里卡特微型氣體流量計(jì) 適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn) 產(chǎn)品體積小巧、響應(yīng)迅速，可實(shí)現(xiàn) SCCM 級(jí)別微量氣體穩(wěn)定測(cè)量，內(nèi)置多種氣體補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫(kù)，無(wú)需重新校準(zhǔn)即可切換不同氣體。具備高精度、低漂移、耐高溫高 壓等特點(diǎn)，廣泛適用于實(shí)驗(yàn)室、科研分析、精密化工、半導(dǎo)體工藝等微量氣體測(cè)控場(chǎng)景。
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